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50KEV光斑可調(diào)節(jié)離子源配備雙燈絲可集成濾波器MODEL 1450，具有可調(diào)光斑尺寸≥5 μm，用于空間定義的濺射或注入發(fā)射調(diào)節(jié)轟擊提供穩(wěn)定的離子電流
